功能：通過(guò)化學(xué)腐蝕剝離石英管/石英舟全表面臟污，噴淋去除石英管/石英舟表面酸殘留，快速沉浸去除清洗后的石英管/石英舟水分殘留。

設(shè)備采用模式：自動(dòng)浸泡、定時(shí)移槽、干進(jìn)干出、上下料位由專(zhuān)用載具、裝載卸載由人工手動(dòng)完成。